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【天富娱乐手机版】6个自由度检测机械运动系统

领先的纳米级运动控制技术创新者ALIO Industries,继续倡导研究6D重复性测试和性能对单轴和多轴运动控制系统的影响。制造工艺和计量传感器的进步,以及工业界对不断创新的技术和产品的持续需求,对运动系统的要求也更高,这些运动系统在纳米水平上既高度精确,又有可重复。

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所有运动系统都在3维空间中运行,并且在6个自由度(6-DOF)中会产生误差。但是,运动系统通常仅以这些6自由度的单个或子集的性能数据为特征。这种做法使性能数据和规格中无法说明几个错误源。ALIO提出了计量检查该重复性的性能和制造系统必须现在进行分析,并使用“点重复性”方法,其占6D的空间误差,以提供纳米精度性能可按照需求真实再现。

传统系统和测试方法-平面可重复性

许多传统的载物台和运动系统将重复性指定为单个数字,代表沿行进轴的线性位移的变化,即平面重复性。从历史上看,这种做法是有效的,因为重复性规格足够大,以至于其他误差因素仅占总误差的一小部分,可以忽略不计。

沿轴的平面位置的可重复性可以有效地在目标位置进行多次循环测量。该平面与轴线的相交点是轴线上的一个点,这些点的集合可产生一维可重复性。

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该测试方法做出了一个关键的假设,即平面仅在一个维度上运动并且轴完全笔直。在纳米级,这种假设是不现实的。

6D 重复性

在纳米级精度系统中,以前在精度较差的系统中被忽略的“其他”误差通常会等于或大于6D可重复性性能。在纳米级,行进轴实际上应显示为在三维空间中弯曲和扭曲,因此平面可视化变得毫无意义,因为它会随着载物台沿轴的移动而倾斜,倾斜和扭曲。载物台在6D空间中移动,因此忽略这些额外的误差源可能导致对实际载物台可重复性性能的错误描述。

载物台移动(或旋转)的每个线性(或角度)方向都会导致该方向上的位置误差。当需要纳米精度时,该运动必须被忽略,它将具有该误差运动的相关可重复性。由于此错误运动以6个自由度进行,因此舞台安装表面上的每个点将在3D空间中移动。附着在平台上的无数个点的点可重复性必须通过测试和规范数据来表征。因此,每个点的重复性将导致球形重复性范围。

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为了准确地表征可重复性,必须在系统的过程中测量X,Y和Z分量,以表征平台沿整个轴的点可重复性。另外,必须执行一个过程来测试轴的俯仰,偏航和侧倾误差及其对重复性的影响。为了让啊集成系统性能能够充分发挥,还必须考虑到平台运动的所有误差分量,针对6D性能对运动子系统进行正确表征。没有这一点,准确性和废除性的主张充其量是毫无意义的,而最坏的情况是还会产生误导。

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